RHEEDスクリーン
RHEEDスクリーン
緑色⇒Phosphor Layer
黄色⇒Viewport coated with ITO |
反射高速電子線解析システム（RHEED）は、 例えばMBE（分子線エピキタシー）で 結晶成長や成膜過程の物質の表面結晶を精査するため手段として使用されます。 TSL社は、すべてのアプリケーションに適応した様々なRHEED用の蛍光スクリーンを製作できます。 蛍光体の厚さ及びタイプは、 そのアプリケーションにより決まります。。 代表的な蛍光体 P20・P22・P11・P43 ※その他の蛍光体も取扱いしています。 TSL社では高解像度の鮮明な画像を維持しつつ最適な輝度を得るために必要な厚みを決めることができます。 上図は典型的な RHEED用 CF（コンフラット）ビューポートです。CFビューポート上にITOが成膜され、その上に均一な蛍光体層が成膜されています。 高電圧のアプリケーションでは危険なX線から保護する為に 鉛ガラスが必要となります。 鉛ガラスは外側にクリップ留めで固定することができます。 また、鉛ガラス上に蛍光体を成膜し、これをCF（コンフラット）フランジの内側にクリップ機構で固定することも可能です。 TSL社カタログ（英文）・・・  |
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