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MDC社　コンパクトZ軸ステージ

コンパクトZ軸ステージ

コンパクトZ軸ステージ

　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　　単位：Inch
【仕様】
型名 665505 その他
フランジ ICF70 ICF114
Z軸 4インチ（100ｍｍ） 1～6インチ（25.4ｍｍ～150ｍｍ）
軸シール ベローズ式
真空領域 1.3×10-9Pa　UHV対応
許容温度 -20℃～230℃

MDC社　Z軸ステージ

Z軸ステージ

コンパクトZ軸ステージ

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